在市場(chǎng)上，無(wú)塵布品種多樣，用途廣泛，價(jià)格更是高低不平，客戶在采購(gòu)無(wú)塵布時(shí)主要通過(guò)無(wú)塵布的材質(zhì)、吸收率等來(lái)評(píng)估無(wú)塵布性能和費(fèi)用。
而在半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈室中對(duì)無(wú)塵布?jí)m粒、離子、ESD等有很高的要求。碩源科技為此提供了一些評(píng)估無(wú)塵布的方法。
無(wú)塵布需進(jìn)行嚴(yán)格測(cè)試以達(dá)到性能要求和污染控制標(biāo)準(zhǔn)，一般無(wú)塵布需進(jìn)行以下測(cè)試：
1、 抗磨損性測(cè)試
通常，抗磨損性測(cè)試屬于布料物理性質(zhì)的測(cè)試。但在無(wú)塵布的測(cè)試中，因?yàn)槟p的過(guò)程會(huì)產(chǎn)生塵粒，因此，將無(wú)塵布的抗磨損性測(cè)試歸納為污染控制范圍更合適。
*測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：抗磨損性越強(qiáng)越不容易產(chǎn)生塵粒。
2、 克重
根據(jù)ASTM-D-3776測(cè)試無(wú)塵布單位面積的重量
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：一般要求在150－300g/㎡
3、 吸液量和吸液速度
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第8節(jié)要求，需測(cè)試無(wú)塵布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是單位面積的無(wú)塵擦拭布的吸收液體的毫升數(shù)。
吸液速率是指無(wú)塵布吸收10ml液體所需的時(shí)間。
以上兩種測(cè)量都須測(cè)量三次并計(jì)算平均值
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：吸液量一般不小于400g/㎡
吸液速度一般不大于1秒。
4、 IC測(cè)試
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.2節(jié)要求，定性定量地測(cè)量無(wú)機(jī)陰陽(yáng)離子含量。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，在磁頭行業(yè)，一般要求CL-≤0.03ug/c㎡; SO42-≤0.03ug/c㎡; NO3-≤0.03ugc㎡; Total:＜1.0ug/c㎡
5、 NVR測(cè)試
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第7.1節(jié)要求,測(cè)試單位面積上的無(wú)揮發(fā)性殘留物。
NVR測(cè)試是將無(wú)塵布浸泡于一定量的溶劑中一定量的時(shí)間，然后將無(wú)塵布取出，測(cè)試溶于溶劑中的無(wú)揮發(fā)性殘留物的質(zhì)量。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，一般要求＜3.0ug/c㎡
6、 LPC測(cè)試
根據(jù)IEST-RP-CC004.3第6.2.1節(jié)的要求，對(duì)無(wú)塵布進(jìn)行LPC測(cè)試。
LPC可測(cè)試無(wú)塵布上的液態(tài)塵粒數(shù)。
LPC測(cè)試是將無(wú)塵布浸泡在一定量的DI水中，經(jīng)過(guò)超聲波振蕩，檢測(cè)DI水中的塵粒濃度。*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，一般要求＜30counts/c㎡
7、 FTIR測(cè)試
傅立葉變化紅外光譜測(cè)試
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：一般不允許有硅油、氨基化合物、增塑劑。
8、 GC測(cè)試
GC測(cè)試是用來(lái)分析無(wú)塵布上有機(jī)污染物種類和含量的一種方法。
*參考測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)：在磁頭行業(yè)，要求Total:＜10ug
